图1-3是将超纯水分别放置在3个不同环境(分析仪器实验室、微生物实验室、有机溶剂实验室)1个小时后，检测其阴、阳离子与VOC含量。取水瞬间的超纯水其阴、阳离子与VOC浓度原本在数ppt～数十ppt，但1小时之后浓度便升达数ppb(注：1ppb= 1000 ppt)。也证实了超纯水会受到环境物质的污染。

　　如果将不同实验室对超纯水的污染程度做比较时，保存于溶剂实验室的超纯水，其阴离子(特别是氯离子)与VOC的浓度改变较为显著。原因可能是受到贮存的盐酸、二氯甲烷与四氯甲烷的影响。进行VOC的分析实验室，由于进行溶剂萃取(solvent extraction)时放置了许多的有机溶剂，造成有机溶剂大量扩散到空气中。若在同一环境下设置超纯水系统，有机溶剂将经由空气来污染到超纯水。因此，如果要在VOC分析用实验室设置超纯水系统，就必须要将有机溶剂的操作空间加以隔离。此外，油性签字笔含有甲苯，修正液含有1,1,1-二氯乙烷溶剂，在实验过程中这些物质的使用都应该多加以注意。

　　虽然超纯水中的金属元素含量不易受到环境的影响，但若进行ppt级的微量金属元素分析时，就必须在无尘室、无尘操作台内进行，以防止超纯水受到污染。表. 21 是将10 ml的超纯水分别置于一般实验室与10,000级无尘室8小时后的分析结果。由表可知，使用无尘室可以减低环境对超纯水的污染。并且针对无尘室的清净度做监测时，可以利用前述原理，将超纯水放置一定时间后，进行浓缩再加以分析。


图1环境对超纯水的污染(阴离子)



图2环境对超纯水的污染(阳离子)